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Wafer Transfer晶圆转移器 Wafer Aligners 晶圆校准器 Wafer Lifter晶圆升降器 Wafer Cassette 晶圆载具 Machined parts 机加工零件 Fitting Assembly 装配总成 FFKM全氟醚密封圈

FFKM全氟醚O型圈


(一全氟醚橡胶性能:

    FFKM(Kalrez)全氟醚橡胶材料是目前所有弹性密封材料中耐高温、耐强酸碱、耐有机溶剂性能最好的橡胶材料。全氟醚橡胶可耐强酸、强碱、有机溶剂、超高温蒸汽、醚类、酮类、酯类、含氮化合物、碳化氢类、醇类、醛类、呋喃、胺基化合物等1600多种化学溶剂的腐蚀,耐高温可达320℃,FFKM全氟醚零部件已在众多行业拥有近40年以上实际应用经验

 

(二)全氟醚橡胶选型表

    粤奇微采用进口全氟醚FFKM橡胶原料,满足半导体客户苛刻工况下的特殊密封需求。由于全氟醚橡胶制造工艺复杂,目前世界上只有少数几个厂家可以生产全氟醚橡胶原料:美国杜邦Kalrez全氟醚橡胶、美国3M全氟醚橡胶、日本大金(DAIKIN)全氟醚橡胶、欧洲苏威(SOLVAY)全氟醚橡胶等。


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