半导体级高纯风囊泵

产品性能特点

• 全机无金属、无油、无橡胶密封圈设计

• 接液部全部为高纯PTFE、PFA制成，拥有极强的耐温、耐化学品特性，洁净无污染

• 可分离式无油换向气阀，便于更换清洁，适用于洁净的压缩空气或氮气

• 特殊的换向机构及风囊的延展拉伸结构，将流体脉动降到最低

• 没有驱动电机，不会对输送的液体持续加温

• 洁净厂房生产、检测、包装

• 可输送温度超过100℃的高温化学液

• 两年保修期内无预防性维护

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